◆工作溫度： 300~1300℃
◆有效口徑根據(jù)用戶擴(kuò)散片確定，可訂制
◆恒溫區(qū)長度： 1080mm（可根據(jù)用戶要求定制）
◆溫區(qū)精度 (靜態(tài)閉管測試)：
600℃＜工作溫度＜1200℃： ±0.5℃
300℃≤工作溫度≤600℃： ±1℃
◆單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性(靜態(tài)閉管測試)：
600℃＜工作溫度＜1200℃： ±0.5℃/24h
300℃≤工作溫度≤600℃： ±1℃/24h
◆溫度斜變能力：
***大可控升溫速度(300～1300℃)：15℃/min
***大降溫速度(1300～900℃)： 5℃/min
◆氣體流量設(shè)定精度： ±2％FS
◆氣路系統(tǒng)氣密性： 1×10-7pa.m3/s
◆自動送料裝置行程： ~2000mm
速度： 5~1000mm/min
SiC漿承重 19kg
◆裝片數(shù)量 400片/管
◆凈化臺潔凈度 100級（10000級廠房）
◆三相五線制 380V±10%，50Hz±10%Hz；
◆冷卻水： 2～4Kgf/cm2，～8L/min
太陽能電池?cái)U(kuò)散主要有開管擴(kuò)散和閉管軟著陸擴(kuò)散兩種形式
◆閉管磷擴(kuò)散，帶有工藝廢氣冷卻定向回收裝置，偏磷酸、CL2分開收集處理；工藝廢氣集中收集從尾部定向排出；各種工藝氣體可分開送入石英管內(nèi)，工藝氣體(三氯氧磷)可采用噴淋式方式引入到石英管內(nèi)。閉管軟著陸擴(kuò)散方式工藝過程完全不受外界環(huán)境干擾，工藝質(zhì)量完全受保護(hù)。
◆自動化程度：自動控制溫度及工藝過程。主控溫控模塊采用國外進(jìn)口，可在達(dá)到±0.25℃的控制精度。
◆送取片方式：懸臂式推拉舟。采用側(cè)面布局的懸臂推拉結(jié)構(gòu)，可有效的防止偏磷酸下滴，造成推拉機(jī)構(gòu)受腐蝕，影響推拉機(jī)構(gòu)的精確性。
供應(yīng)商參考報(bào)價：面議
太陽能光伏：
{try{}catch(e){}var f='http://service.weibo.com/share/share.php?',u=d.location.href,p=['url=',e(u),'&title=',e(encodeURIComponent('#新能源產(chǎn)品推薦#【太陽能光伏擴(kuò)散爐 — 青島育豪微電子設(shè)備有限公司】太陽能光伏擴(kuò)散爐◆工作溫度： 300~1300℃◆有效口徑根據(jù)用戶擴(kuò)散片確定，可訂制◆恒溫區(qū)長度： 1080mm（可根據(jù)用戶要求定制）◆溫區(qū)精度 (靜態(tài)閉管測試)：600..')),'&appkey=1803333894','&pic=http://file.china-nengyuan.com/999/product/small/201206/p943438001339137381.jpg'].join('');function a(){if(!window.open([f,p].join(''),'mb',['toolbar=0,status=0,resizable=1,width=620,height=450,left=',(s.width-620)/2,',top=',(s.height-450)/2].join('')))u.href=[f,p].join('');};if(/Firefox/.test(navigator.userAgent)){setTimeout(a,0)}else{a()}})(screen,document,encodeURIComponent));){kind=link}